隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對晶圓襯底的表面質(zhì)量要求越來越高。晶圓拋光霧是高質(zhì)量拋光的重要參數(shù)之一，尤其是對晶圓精拋質(zhì)量的評價更加重要。
晶圓拋光霧指拋光后再晶圓表面留下的微淺損傷缺陷（如高密度的凹坑、小丘和拉絲），該缺陷在強(qiáng)聚光燈照射下產(chǎn)生光的散射給人眼的感覺像霧。常規(guī)的霧度測量通過離線的方式來進(jìn)行測量，但對于生產(chǎn)過程控制來說，十分不利。 真尚有晶圓霧度檢測方案，可提供在線實時的霧度檢測，能自動對比霧度值并生成霧度圖，最終實現(xiàn)了生產(chǎn)過程中霧度在線自動檢測。 優(yōu)點：1.系統(tǒng)自動對焦
2.微米級缺陷檢測能力
3.可定制
ZM105.2D系列二維高速投影圖像測量儀是專為在線非接觸二維批量測量線性尺寸、直徑、角度、螺紋參數(shù)、零件形狀、跳動等而研發(fā)的。
ZM105.2D系列二維高速投影圖像測量儀使用“陰影”測量原理，即準(zhǔn)直激光被傳送到接收器，接收單元內(nèi)的探測器陣列可以精確地測量光束路徑中物體投射陰影的邊緣。
ZM105.2D系列二維高速投影圖像測量儀提供了一個簡單直觀的工具——測量方案，用戶可以自行創(chuàng)建測量算法，ZM105.2D將根據(jù)用戶創(chuàng)建的算法進(jìn)行分析、測量和公差控制。
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ZM106系列邊緣檢測傳感器用于非接觸式測量和監(jiān)控各種物體（如膠帶、板、基板等）的邊緣（邊緣）位置。
ZM106系列邊緣傳感器基于“陰影”原理，由控制器和測量頭組成，其中測量頭有發(fā)射器和接收器兩個模塊。
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內(nèi)徑測量儀精密輪廓檢測系統(tǒng)微觀型面測量系統(tǒng)靜態(tài)形變測量系統(tǒng)精密在線測厚系統(tǒng)振動測量系統(tǒng)無人警衛(wèi)船光伏清潔機(jī)器人智能垃圾壓實機(jī)智能機(jī)器人自穩(wěn)定無人機(jī)起落平臺空氣質(zhì)量檢測儀橋梁結(jié)構(gòu)健康檢測系統(tǒng)其他檢測系統(tǒng)
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