ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統(tǒng)。 兩個傳感器板，一個目標和一個探頭，形成一個平行板電容器。 可以使用適當的電子控制器測量這兩個板的間距。 可以實現最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標準產品提供 20um 至 1250um 的測量范圍，頻率響應高達 5KHz，線性度低至 0.02%。高熱穩(wěn)定性結構（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驅動 ZNXSensor 系列的單通道獨立電子模塊。 它通過測量平行板電容器的電容變化來工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。 當傳感器間隙從標稱間隙的 50% 變化到 150% 時，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化，此比例可由用戶設置。

ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨立操作和高分辨率使其成為升級需要納米定位的現有系統(tǒng)的理想選擇。

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CWCS10納米級電容傳感器采用電容式測量原理，無需接觸被測物即可測量傳感器與被測物表面之間的距離，并且具有納米級的分辨率。

CWCS10納米級電容傳感器的最高工作溫度受連接器內部焊接材料的熔化溫度限制，標準探頭也能在接近絕對零度的極低溫度下進行測量。并且由于傳感器的靈敏度容差很小，因此更換探頭后無需重新校準仍然可以保證 ±0.5% 的總精度。對于特殊應用，納米級電容傳感器CWCS10的輸出電壓的靈敏度還可以調整為 0 到 10 倍。

CWCS10納米級電容傳感器測量受電介質特性的影響。通常用于空氣中的測量，傳感器和目標之間的區(qū)域應該完全沒有灰塵、油或水。如有必要，這可以通過將空氣吹過傳感器和目標之間的間隙來實現。

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LP-IM200皮米級干涉位移傳感器是一種功能強大的非接觸式位移測量系統(tǒng)。該控制器包含激光、探測電子器件，并通過多個接口提供所有數據。LP-IM200干涉儀控制器包含一個激光源和所有必要的電子器件來評估光信號。強大的固件模塊，方便的軟件和多功能的配件允許輕松集成LP-IM200干涉儀控制器到新的或已經存在的測量設置。

針對不同的應用情況，還可以提供多個不同的可選傳感器頭及配件：

（1）、一般用途的緊湊型傳感器頭，具有許多方便的功能。

（2）、具有準直光束的傳感器頭，可用于遠距離和反向反射目標。?

（3）、具有聚焦光束的傳感器頭具有較高的對準公差。

（4）、線聚焦光束用于圓柱形目標的傳感器頭。

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