ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統(tǒng)。 兩個傳感器板，一個目標(biāo)和一個探頭，形成一個平行板電容器。 可以使用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y量這兩個板的間距。 可以實現(xiàn)最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供 20um 至 1250um 的測量范圍，頻率響應(yīng)高達(dá) 5KHz，線性度低至 0.02%。高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驅(qū)動 ZNXSensor 系列的單通道獨立電子模塊。 它通過測量平行板電容器的電容變化來工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。
當(dāng)傳感器間隙從標(biāo)稱間隙的 50% 變化到 150% 時，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化，此比例可由用戶設(shè)置。
ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨立操作和高分辨率使其成為升級需要納米定位的現(xiàn)有系統(tǒng)的理想選擇。
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ZNX超精密電容位移傳感器特點：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；線性最高0.02%；
(2)、對位置的尺度變化非常敏感，精確測量到皮米級位移變化；
(3)、可調(diào)諧以滿足應(yīng)用要求；
(4)、高精度，線性度最高可至0.02%FS；
(5)、高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移；
(6)、適用于各種應(yīng)用并適應(yīng)各種環(huán)境挑戰(zhàn)，可用于真空，極端低溫，強輻射。
ZNX超精密電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
ZNX超精密電容位移傳感器技術(shù)規(guī)格：
傳感器型號 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作溫度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探頭） | ||
存儲溫度 | 0～+70℃ | ||
相對濕度 | 5～95%（無冷凝） | ||
頻響Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型號 | CC-A-4101 | ||
傳感器通道最大個數(shù) | 1 | ||
供電 | ±15V，75mA | ||
模擬輸出V | ±10 | ||
數(shù)字輸出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
頻響Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權(quán)利。
ZNX超精密電容位移傳感器測量原理：
ZNX超精密電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
ZNX超精密電容位移傳感器安裝尺寸：
內(nèi)徑測量儀精密輪廓檢測系統(tǒng)微觀型面測量系統(tǒng)靜態(tài)形變測量系統(tǒng)精密在線測厚系統(tǒng)振動測量系統(tǒng)無人警衛(wèi)船光伏清潔機器人智能垃圾壓實機智能機器人自穩(wěn)定無人機起落平臺空氣質(zhì)量檢測儀橋梁結(jié)構(gòu)健康檢測系統(tǒng)其他檢測系統(tǒng)
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0755-26528100
0755-26528011
18145802139(微信同號）
