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極端環(huán)境條件下對(duì)微位移測(cè)量的高要求

???????在工業(yè)生產(chǎn)中和科研項(xiàng)目中，有些位移測(cè)量應(yīng)用需要在真空、低溫環(huán)境中操作，例如航空航天、極地研究等領(lǐng)域，低溫微位移促動(dòng)器、模擬真空低溫環(huán)境實(shí)驗(yàn)平臺(tái)控制系統(tǒng)、極地天文望遠(yuǎn)鏡鏡片控制系統(tǒng)等用于低溫真空條件下，需要在超低溫和真空這種極端環(huán)境條件下的微位移測(cè)量。這類的極端條件下對(duì)于測(cè)量?jī)x器有著很高的要求，既要有高精度、高分辨率、低遲滯和線性誤差，也需要保證能在極端環(huán)境條件下的工作穩(wěn)定性，這對(duì)測(cè)量系統(tǒng)有著極高的要求。

真空低溫環(huán)境微位移測(cè)量方案無懼極端環(huán)境

???????真尚有科技的真空低溫環(huán)境微位移測(cè)量方案，使用極端溫度電容傳感器來實(shí)現(xiàn)在超低溫、真空環(huán)境下的微位移測(cè)量。為了降低極端溫度帶來的影響，，可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行定制，可選用具有高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)，提供超殷剛和陶瓷等材料以最大程度地減少位置漂移。最高可以實(shí)現(xiàn)亞納米或納米級(jí)的位置分辨率，可提供20um至11mm的測(cè)量范圍，其頻率響應(yīng)高達(dá)5KHz，線性度低至0.02％。

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