在單晶硅的生產過程中,精密監測單晶硅爐內硅液液位是至關重要的。保持硅液液位的穩定可以確保晶體生長過程的均勻性和質量,同時避免材料浪費和設備損壞。當前主要的液位測量方案包括電容傳感器、浮子式液位計以及超聲波傳感器等。其中,電容傳感器具有高精度和響應快速的優點,但其對環境變化較為敏感;浮子式液位計結構簡單,成本低廉,但在高溫環境下易失效;超聲波傳感器可以在各種介質中工作,但在高溫高壓條件下性能會受到較大影響。
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