數字壓電轉換器(DP)是一個壓電轉換設備,具有很高的線性度和非常完美的重復性,量程最大70μm,最小15um,延遲小于1nm。
普通壓電轉換器是非線性的,而且表現出滯后和不穩定的現象。為了克服這些不足之處,每個DP轉換器都會內置一個位置傳感器。這種傳感器的輸出控制電壓消除滯后、非線性和輸出不穩定的情況。每個DP轉換器都會提供一個校準曲線,它可以作為一個基礎,用于修正非常微小的非線性誤差。
位置檢測電路和壓電驅動放大器已經微型化封裝在獨立的DP控制器,只需要給它提供±15V的電壓就可以工作。這使得DP轉換器非常適合于OEM應用。DP控制器跟模擬輸入,14位并行數字接口,狀態行和準備信號就可以組成一個完善系統。
DP轉換器要能工作,最少需要一個DP控制器。對于實驗室應用,如果要使用三個以上的DP控制器,可以安裝在一個AX301主機里面,AX301提供位置顯示,可選IEEE488,RS232和并行接口,并允許手動控制DP轉換器。
外殼材料用不脹鋼和微晶玻璃;
15、35、70um的移動距離;
分辨率高達納米級;
1ms響應時間;
安裝方便簡潔;
特別適用于OEM應用;
掃描顯微探針;
硬盤磁頭測試;
近場掃描光學顯微鏡;
精密工程……
參數 | 符號 | 值 | 單位 | 備注 | |||
靜態參數 |
| 4~20mA(500Ω阻抗)或0~10V |
|
| |||
型號 |
| S | M | L |
|
| |
材料 |
| 不脹鋼和微晶玻璃 |
|
| |||
長度 |
| 42.2±0.3 | 76.7±0.3 | 127.8±0.3 | mm |
| |
直徑 |
| 20±0.15 |
|
| mm |
| |
凈重(不包含電纜和接頭) |
| 70 | 110 | 170 | g |
| |
線纜長度 |
| 2040±40 |
|
| mm |
| |
*移動范圍 | dxp·max | >15 | >35 | >70 | μm |
| |
最大負荷 |
| 5 | 5 | 5 | Kg | ① | |
動態參數 |
| ||||||
工作溫度 |
| +10~+50 |
|
| ℃ |
| |
儲存溫度 |
| 0~+70 |
|
| ℃ |
| |
相對濕度 |
| 5~95(無冷凝) | % |
| |||
工作壓力 | -VAC | 10-3~10-5 | t |
| |||
-UVAC | 10-3~10-9 | t |
| ||||
響應時間 | txs·s | 1 | 4.3 | 25 | ms |
| |
*位置噪音(1δ) | δXp·n | 1(使用低噪聲控制器為0.5) | nm | ② | |||
誤差 |
|
|
|
| |||
*磁滯 | δxp·hyst | ≤1 | nm |
| |||
*線性度 | δxp·lin | ≤0.1 | ≤0.15 | ≤0.15 | % | ③ | |
重復性 |
| ≤1 | nm |
|
注意:
這些參數由各轉換器實測并提供的。
DP在Z軸方向最大能承受的負載。
②、真實位置噪聲。
③、滿量程的相對誤差。
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