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為什么要對(duì)檢測(cè)晶元

       我們一直為晶圓生產(chǎn)提供標(biāo)準(zhǔn)和定制的 光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，不斷提高產(chǎn)量的無(wú)瑕晶圓的生產(chǎn)是半導(dǎo)體行業(yè)的重中之重，及早發(fā)現(xiàn)損壞的 晶片，不僅節(jié)省了不必要的處理時(shí)間，而且還因晶片破損而導(dǎo)致了較長(zhǎng)且較長(zhǎng)的停機(jī)時(shí)間。

       根據(jù)生產(chǎn)步驟，可以使用不同的檢查系 統(tǒng)。除了用于晶圓正面和背面的經(jīng)典表面檢測(cè)系統(tǒng)外，真尚有還提供了特殊的解決方案，用 于檢測(cè)微裂紋以及對(duì)晶圓邊緣和缺口區(qū)域進(jìn)行新穎的100％檢測(cè)。該系統(tǒng)的特點(diǎn)不僅在于其 創(chuàng)新的檢測(cè)解決方案，還在于其定制的處理概念以及全面的缺陷分析和檢查軟件。

方案介紹

       表面檢查

       1、全晶片正面和背面檢查

       2、快速的微觀和宏觀缺陷檢查

       3、缺陷選擇刻蝕的刻蝕坑密度分析

       4、檢測(cè)劃痕，鋸痕，磨痕，針孔，顆粒， 污漬等

       邊緣檢查（LYNX）

       1、高度敏感的100％邊緣和缺口檢查

       2、多角度檢測(cè)配置，完美適合邊緣輪廓

       3、測(cè)量晶片輪廓和厚度

       4、檢測(cè)切屑，裂紋，劃痕，鋸痕，磨痕， 殘留物等。

       材料檢查

       1、復(fù)雜的照明概念（例如，UV-PL，NIR）

       2、表面和內(nèi)部缺陷之間的清晰區(qū)分

       3、晶圓機(jī)械手或傳送帶處理解決方案

       4、檢測(cè)微裂紋，多型體，夾雜物，晶體 缺陷等。

更懂您的行業(yè)顧問(wèn)

       真尚有科技提供各種晶元解決方案，我們 不僅僅提供技術(shù)方面的支持，基于我們?cè)谛袠I(yè)內(nèi)超過(guò)15年的積累，協(xié)助客戶一起把原始需 求迭代為完整方案，最終服務(wù)您的方案藍(lán)圖反而是我們更注重的地方。我們始終相信成交靠 緣分，不管您是否從我們這里采購(gòu)，我們都非常樂(lè)意為您服務(wù)。