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晶圓生產(chǎn)商的擔(dān)心

???????隨著半導(dǎo)體集成電路制造工藝的發(fā)展，特征尺寸不斷縮小，使芯片的集成度越來越高，對集成電路制造及工藝設(shè)備提出了更高的要求，最新的工藝發(fā)展越來越受到工藝設(shè)備的制約。以立式爐設(shè)備來講，為了保證上述工藝、材料性能的實現(xiàn)，熱處理工藝對立式爐設(shè)備的指標(biāo)，如顆粒控制、氧含量控制、升降溫速率、穩(wěn)定性等，提出了更高的要求。

真尚有方案介紹

??????? 真尚有科技基于砷化鎵的光纖溫度測量設(shè)備，可以為晶圓制造過程中的過程監(jiān)控提供非常理想的條件，它們的測量范圍從-200°C到+300°C，并且具有0.2℃的高精度。

???????我們的設(shè)備能夠滿足生產(chǎn)室內(nèi)對純度和安全性的嚴(yán)格要求。真尚有科技的光纖探頭完全不受RF和EMI的干擾，可確保在硅晶片上進行精確測量，而對維護的要求非常低。

???????真尚有科技可以為安裝測量系統(tǒng)提供完全定制的解決方案。我們的技術(shù)旨在提供靈活性，以確保我們滿足您的配置要求。光纖溫度傳感器可以擴展到數(shù)百米，而不會影響精度。

更懂您的行業(yè)顧問

???????真尚有科技提供各種溫度檢測方案，我們不僅僅提供技術(shù)方面的支持，基于我們在行業(yè)內(nèi)超過15年的積累，協(xié)助客戶一起把原始需求迭代為完整方案，最終服務(wù)您的方案藍圖反而是我們更注重的地方。我們始終相信成交靠緣分，不管您是否從我們這里采購，我們都非常樂意為您服務(wù)。