XY編碼器或者叫柵格，在X和Y方向上以10um作為基礎(chǔ)周期，整個計量系統(tǒng)則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉第一階的激光通過衍射方式反射過來的信號。這三個信號為極小的移動提供一個非常明確的測量相位。 NG-A-PCI是用于測量二維超精密的平面位移的測量系統(tǒng)。NG是一個XY網(wǎng)格編碼器系統(tǒng)，湍流效應(yīng)是激光干涉儀經(jīng)常會遇到的，該系統(tǒng)也可以避免與相單獨線性尺度關(guān)聯(lián)的阿貝誤差。NG在制造柵格的過程中，能夠保證其達(dá)到激光干涉儀的精度，并且以一個更經(jīng)濟(jì)的價格、更實用和更堅固的制造工藝來封裝它。
亞納米的分辨率；
重復(fù)性小于5nm；
低阿貝誤差；
對湍流效應(yīng)及大氣壓強(qiáng)變化不敏感；
占地面積小，重量輕；
可選真空版本；
易于安裝，包括柵格安裝的應(yīng)力消除；
柵格和探頭的間隙為12mm；
對準(zhǔn)誤差低；
完善的技術(shù)支持；可定制；
高速運(yùn)作。
高精度低成本的位置控制；
實時校準(zhǔn)；
精密金剛石車削實驗室；
鏡頭自動對焦；
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