NS是一款用于線性測量的超精密干涉編碼器測量系統(tǒng)。它可以避免激光干涉儀經(jīng)常會遇到的湍流效應，同時提供納米級可重復性和分辨率。NS兼容大多數(shù)現(xiàn)有的設計平臺。 NS傳感器是一款采用二極管光源的高精密電子設備。它用三相90-element的探測器通過掃描方式捕捉第一階的激光通過衍射方式反射過來的信號，經(jīng)過高度準確的插值方法和編碼器對反射不敏感的條件下，這三個信號提供一個非常明確的測量相位。