納米級分辨率；
適用于柔軟和敏感的物體表面測量（鏡面和光滑表面）；
堅固耐用，使用壽命長；
振動分析；
傳感器可進行自動對焦.
對于輪廓測定來說，NLS13自動對焦傳感器是一種非常優越的測量解決方案，具有卓越的保真度，可靠的測量結果，適應廣泛的應用，包括柔軟或敏感表面。適用于厚膜測量和混合動力汽車，光學，通信，電子工程，電子行業材料試驗等領域；摩擦學，機械工程（平整度，波紋度，粗糙度）和IC封裝（翹曲，共面，凸塊高度和體積）等。
傳感器 | NLS13納米級位移計 |
量程mm | 1.5 |
分辨率 nm | 10 |
線性度 | ≤ 0.2um |
重復性nm | ≤ 10 |
測量間隙mm | 2.0 |
光源鹵素燈W | 780nm半導體激光二極管 |
光斑直徑μm | 1.9um |
測量垂直度o | 90±25 |
響應Hz | 16～10K |
輸出 | 數據接RS232 |
重量g | 探頭約5000，控制器約4000 |
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