MP執行器是一個低電壓的壓電轉換設備，有各種各樣的量程，以適應各種定制應用。開環壓電轉換設備理論上有無限的分辨率并且只是受限于驅動器上的電壓噪聲。它的量程可以從15-105um，甚至進一步進行機械放大。
每個執行器內部預裝以確保可以獲得一個高拉力，以及作為一個強大的推動力。它們的回轉速度受限于電子元件上的驅動電流。當沒有使用傳感器時，10％- 15％的固有滯后限制其精度。
低電壓；
尺寸緊湊；
高強度；
內部預裝 - 高拉力；
VAC和UVAC選項；
廣泛應用的附件；
顯微鏡； 波束控制； 自定義閉環系統等
參數 | 符號 | 值 | 單位 | 備注 | ||||
靜態參數 |
| |||||||
型號 |
| 15 | 30 | 45 | 75 | 105 |
|
|
材料 |
| 不銹鋼 |
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| ||||
長度 |
| 30 | 50 | 70 | 110 | 150 | mm |
|
直徑 |
| 10 | mm |
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線纜長度 |
| 2000 | mm |
| ||||
*移動范圍 | dxp·max | >15 | >30 | >45 | >75 | >105 | um |
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最大負荷 |
| 10 | Kg | ① | ||||
剛度 |
| 50 | 25 | 16 | 10 | 7 | N/um |
|
電容量 |
| 1.8 | 3.6 | 5.4 | 9.0 | 12.6 | uF |
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動態參數 |
| |||||||
工作溫度 |
| +10~+50 | ℃ |
| ||||
工作電壓 |
| -20~-120 | VDC |
| ||||
儲存溫度 |
| 0~+70 | ℃ |
| ||||
相對濕度 |
| 5~95（無冷凝） | % |
| ||||
誤差 |
|
|
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| ||||
*磁滯（峰值） | δxp·hyst | ≤13 | % |
| ||||
*線性度 | δxp·lin | ≤6 | % | ② | ||||
注意：
*這些參數由各轉換器實測并提供的。
①、這是MP在Z軸方向最大能承受的負載。
②、滿量程的相對誤差。
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