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CPS3D表面微觀型面測量系統

我們具有多年光學傳感器和測量技術的經驗,并開發出新一代光學傳感器,克服了傳統產品的缺點。其核心的光電器件使傳感器可以滿足嚴格的質量要求。其卓越的測量能力也使它成為研究部門的首選。
NLS13 自動聚焦傳感器具有無與倫比的測量速度、精確度和分辨率。由于自動聚焦原理的限制,此傳感器只適合于連續表面的測量,對于不連續或表面復雜的情況,建議選用共焦傳感器。
從2000年開始,我們開發了共焦傳感器作為NLS13的補充。傳感器動態的測量范圍使它可以應付各種反射率的表面和很尖的邊緣,而無需做任何適配或設置。

返回列表
  • 量程0.3~1mm;

  • 分辨率10~25nm;

  • 卓越的測量性能,且易于操作;

  • 綜合的觸發模塊;

  • 大的測量間隙,高數值孔徑,特別適用于復雜的地形;

  • 能測量各種反射率的表面和尖端邊緣,并無需做任何適配或設置;

    產品應用于電子行業,光學器件,電信行業,塑料和造紙行業,IC封裝,機械工程,陶瓷行業、汽車等應用領域。

   


型號

NLS11

NLS12

NLS13

NLS14

測量范圍mm

1

1

1.5

0.3

分辨率nm

20

20

10

25

測量間隙mm

4

13.5

2

4

光斑直徑μm

<2< span="">

2

1.9

5

激光等級

2

1

1

 

光源

半導體傳感器

半導體傳感器

半導體傳感器

鹵素燈

工作原理

共焦傳感器

共焦傳感器

自動聚焦傳感器

白光傳感器


我們保留規格變化而不另行通知的權利。


    NLS13發射的光源通過物鏡投射到被測物樣品表面,其反射回來的光會通過內置的裝置形成光斑顯示在傳感器里面,從而被探測器檢測。物鏡的運動通過增量型編碼器控制,傳感器自動算出當前位移值。

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