應用背景

定位轉向鏡面來獲取，追蹤，定位(ATP)激光信號，一般用在通信和研究上面。

定位鏡面的過程中，可以確保非常高的精度在亞微米弧度的范圍內，可使激光準地射到數百公里以外的目標。

測量方案

采用四個電渦流傳感器探頭-一對傳感器對應一個軸方向-安裝在鏡面后面以檢測其運動位移（如圖1所示）。每個傳感器的作用相當于平衡橋路的一條腿，當鏡子旋轉時，橋便失去平衡，這里傳感器提供一個雙極性輸出電壓，這個電壓跟鏡面的位移成正比。因ZED51/52電渦流傳感器具有1nm的動態分辨率（靜態分辨率0.1nm）以及超長的時間穩定性，所以鏡面出現納米級偏移都可以被準備檢測到并且反饋給閉環系統進行調節。

方案選用的產品：ZED51/52納米級差動電渦流傳感器

ZED51/52納米級差動電渦流傳感器主要特點：

非接觸：用電渦流技術，傳感器可以在不接觸被測目標的情況下進行測量，測量結果精確，可靠性高。

高分辨率：測量鏡面角位移的精確度可達亞微弧度，它僅受限于傳感器的安裝。

靈活性：多傳感器配置可容納多種測量范圍和其他性能方面的考慮，比如說鏡子的尺寸或者位移。

體積小易安裝：ZED51尺寸很小（2.12X2.00X0.75英寸），重量輕（70g）。

用途廣泛：ZED51除了可以用于定位鏡面，還可用于通訊衛星的激光夜視鏡測距。

ZED51/52納米級差動電渦流傳感器測量原理：

差分測量系統是精密測量技術的重大進步。它們提供出色的分辨率、可重復性和歸零精度，用于檢測導電目標相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。

對于差分測量應用，每個通道有兩個精確匹配的傳感器位于目標的相對兩側或兩端。在這種傳感器到目標的關系中，當目標遠離一個傳感器時，它向另一個傳感器移動等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩定性。