DKMX10光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。DKMX10的白光干涉儀可以埃 級分辨率對表面進(jìn)行高分辨率測量。該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統(tǒng) 的相干掃描干涉技術(shù)（CSI）。DKMX10進(jìn)一步擴(kuò)展了這些技術(shù)，它采用SMARTAcquire為新 手用戶簡化了程序設(shè)置，并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對大臺階高度進(jìn)行高速測量。 DKMX10測量技術(shù)的優(yōu)勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無關(guān)，因而能夠在大視野 范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨率測量。測量區(qū)域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結(jié)果而進(jìn)一步增 加。DKMX10的用戶界面創(chuàng)新而簡單，適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。